Parker Hannifin FR1400 Series High Flow Regulator

모델명: FR1410HD5K2PFSFF

[참고용 이미지입니다]

1. 제품 개요 (Product Overview)

Parker Veriflo FR1400 시리즈는 반도체 제조 공정 및 기타 초고순도(UHP) 가스 공급 라인을 위해 설계된 고유량 감압 레귤레이터입니다.

이 제품은 Tied-Diaphragm(타이드 다이어프램) 설계를 채택하여 안정적인 압력 제어와 탁월한 밀봉 성능을 제공하며, 최대 800 slpm의 높은 유량을 처리할 수 있어 Bulk Gas 시스템이나 VMB(Valve Manifold Box) 등에 이상적입니다.

모델 FR1410HD5K2PFSFF는 **고압 입력(3000 psig)**과 Double Melt 316L 스테인리스 스틸 바디를 적용하여 최고의 순도와 내식성을 보장합니다.

2. 주요 특징 (Key Features)

• 초고순도 설계 (UHP Design): 반도체 공정 가스 라인에 최적화된 설계.

• 고유량 처리 능력 (High Flow): 최대 800 slpm의 유량 제어 가능 (유량 계수 Cv 0.5).

• Tied-Diaphragm 디자인: 다이어프램과 포핏이 연결된 구조로 시트 누설을 방지하고 압력 제어의 안정성 극대화.

• 우수한 표면 조도: 내면 거칠기 10 Ra (Electropolished)로 입자 오염 및 가스 흡착 최소화.

• 금속 대 금속 씰 (Metal-to-Metal Seal): 외부 누설을 완벽하게 차단하여 고위험 가스 사용 시 안전성 확보.

• 내구성: Hastelloy C-22® 다이어프램을 기본 장착하여 뛰어난 내식성과 긴 수명 제공.

3. 기술 사양 (Technical Specifications)

이 모델 코드(FR1410HD5K2PFSFF)의 상세 사양 분석입니다.

참고: 연결 사이즈(Connection Size)는 코드상 명시되지 않았으나, FR1400 시리즈의 FSFF 타입은 일반적으로 1/4" 또는 **3/8"**가 표준입니다. 설치 전 배관 사이즈 확인을 권장합니다.

4. 주요 적용 분야 (Applications)

• 반도체 제조 장비 (Semiconductor Tools): 고유량이 필요한 공정 챔버 가스 공급.

• 가스 캐비닛 (Gas Cabinets) & VMB: 대용량 가스 분배 시스템.

• Bulk Gas System (BSGS): 공장 내 메인 가스 공급 라인.

• 특수 가스 실린더 (Specialty Gas Cylinders): 고압 용기에서 직접 감압이 필요한 경우.

5. 치수 및 도면 정보 (Dimensions)

(실제 설치 시 제조사 카탈로그의 상세 도면을 참조하십시오. 아래는 일반적인 Face Seal 타입의 대략적인 치수입니다.)

• End-to-End 길이: 약 109 ~ 132 mm (연결 사이즈에 따라 상이)

• 바디 직경: Ø 60.5 mm (2.38 in)

• 마운팅: 패널 마운트 옵션 제공 (캡 링 사용 시)