대유량 초고순도 화학물질을 위한 최적의 유량계

SPM9는 PFA(Perfluoroalkoxy) 소재로 제작되어 DI water, Chemical, 특히 불산(HF) 및 부식성 화학물질 등 초고순도 유체를 대유량으로 측정 및 제어하는 데 최적화된 유량계입니다.

주요 특징 (Features)

• 뛰어난 내화학성: PFA 소재를 사용하여 부식성이 강한 화학물질을 안정적으로 측정할 수 있습니다. 요청 시 All Teflon coating으로 부식 방지 코팅이 가능합니다.

• 오염 방지 구조: Particle free 및 Leak free 구조로 초고순도 환경에 적합합니다.

• 대유량 측정: 액체의 경우 최대 100LPM까지 유량 측정이 가능하여 대유량 공정에 적합합니다.

• 정확한 유량 측정: ±5%의 Full Scale 정확도로 안정적인 공정 관리를 지원합니다.

• 알람 기능: 유량 레벨 감지 센서 (Optic Sensor)를 통해 알람 출력이 가능합니다.

• 다양한 연결 방식: PT Female, NPT Female, Tube Fitting 등 다양한 연결 옵션이 있어 설치가 용이합니다.

• 유량 조절 밸브: Inlet 또는 Outlet에 유량 조절을 위한 니들 밸브가 내장되어 있어 정밀한 유량 제어가 가능합니다.

제품 사양 (Specification)

주문 정보 (Ordering Information)

SPM9 모델은 아래의 코드를 조합하여 맞춤 제작이 가능합니다.

SPM9 - ①②③ - ④⑤ - ⑥⑦

적용 분야 (Applications)

• 반도체 습식 공정: Chemical 공급 라인

• 고순도 유체: 고순도 Chemical 유량 측정

• 실험실 장비: 유리 사용이 불가능한 화학물질 측정

• 정밀 제어: 유량 조절 니들 밸브를 통한 유량 정밀 제어

SPM9 유량계로 까다로운 대유량 화학물질 환경에서도 오염 걱정 없이 안정적이고 정밀한 유량 제어를 경험하세요!
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